NanoAdvanced 系列

NanoAdvanced型号设计是适用于轻松快速地在任何平面基材上涂覆氧化物薄膜。

预期规格：

• 基材尺寸: 高达 12 英寸 x 12 英寸
• 基材装载: 支持自动晶圆装载和处理
• 工作温度: 25°C - 400°C
• 操作条件: 惰性条件
• 模块化功能: 根据需求提供额外功能

Ideal Applications: Large-area coatings for photovoltaics, electronics, and protective coatings.

100倍高速

非真空

高质量

精巧设

NanoCompact Series

NanoCompact型号在非真空条件下运行，降低了成本和时间，同时确保高质量的涂层。凭借更高的沉积速率和紧凑的设计，NanoCompact非常适用于多种应用，包括钝化层、缓冲层、透明导电层以及封装层。

NanoCompact型号专为在任何平面基材上快速涂覆氧化物薄膜而设计，操作简便。